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淺談晶圓設備零部件碳化硅陶瓷的制作工藝及優點分析

2020-07-09 16:16:32

將碳化硅應用于陶瓷生產所生產的出的陶瓷有多種優點,碳化硅是一種電絕緣體,但在生產碳化硅陶瓷的工藝中難免灰參入一些雜質,因此碳化硅陶瓷具有一定的導電性,碳化硅陶瓷是目前市面上應用較為廣泛的材料,對其制作工藝及優點的分析是非常有必要的,它可以是我們更加有效的利用好碳化硅陶瓷,今天我們就一起淺談下談碳化硅陶瓷的制作工藝及優點。


制作工藝碳化硅陶瓷主要以碳化硅為原材料,在經過各種工藝制作成型,碳化硅的制作工藝可根據不同類型來區分,雖然在2000度以上的溫度和350MPa以上的壓力可以使純SIC熱壓致密,但是通常還是采用加入添加劑的方法,常壓碳化硅陶瓷常壓燒結碳化硅也命名為無壓燒結碳化硅,在燒結到2100度以上的溫度下,生成高純度、高致密的碳化硅陶瓷,反應燒結碳化硅又稱為自結合SIC,將碳化硅粉和石墨粉按一定的比例混合壓成坯體塊,加熱到1650度左右,通過氣相與C反應生成。晶圓設備零部件


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化硅陶瓷是一種特種陶瓷,它具有抗氧化性、導電性、硬度高等優點,可在1140-1600攝氏度時發揮較好的抗氧化性能,也具有一定的導電性能,其硬度灰隨著溫度的升高并不下降,在正常室溫下,碳化硅陶瓷的導熱率也是相當高的這些都是碳化硅陶瓷的優點。


通過簡單了解碳化硅陶瓷的制作工藝及優點我們可以更加熟悉其特性,在之后的使用中可以更好的利用其優點應用于多種領域,相信碳化硅陶瓷依靠其自身眾多的優點可以在各種行業內有較好的發展!


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