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化學氣相沉積設備部件高端設備產業發展面臨三大問題

2020-07-09 14:48:09

由于集成電路設備產業具備極高的門檻和壁壘,國產集成電路設備依然面臨著種種挑戰。目前中國集成電路設備產業主要面臨著三大問題。


首先,目前國產集成電路設備市場占有率較低。2019年中國集成電路設備在中國大陸市場占有率僅為10%左右。


其次,中國集成電路晶圓生產關鍵設備(如光刻機)仍需依賴于進口,14nm制程國產集成電路晶圓生產設備2019年剛剛進入產線量產,落后2019年國際先進的5納米量產生產線設備二代以上。此外,一些已進入晶圓量產生產線的國產設備中,有些設備與國際同類設備相比依然存在差距。化學氣相沉積設備部件


最后,目前國產半導體設備關鍵部件本地化進程緩慢,進口依賴度較大,集成電路晶圓生產設備關鍵部件進口額占設備銷售額的30%~40%。例如,干泵、分子泵、機械手(潔凈、真空)、高溫加熱裝置(溫控器)、射頻電源、真空閥門等。


化學氣相沉積設備部件


半導體裝備制造業是為我國集成電路和半導體器件行業提供工藝裝備的戰略性產業,是提升我國半導體產業制造能力的高端裝備制造產業,也是國家支持的重大技術裝備產業。


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